求助贴，分子泵抽真空问题

刘晓白

最近公司的产品要求腔体内真空度达到8.0X10-4Pa，我都快被抽疯了。
产品的结构有3处焊口，2处NPT螺纹，1处活塞密封（静密封），1处聚氨酯灌封胶形成的密封。产品是个外径16的管子，2700mm长。
现在的问题是：机械泵抽完，改用分子泵进行抽真空，真空度停留在一个较大的数值不再变动，或者变动得很慢，30分钟变动0.005Pa左右。
产品是批次的，一批在40个左右，眼看就要交不上了，很是着急啊，哪位有过真空经历的大虾传授点经验。
还有这样的结构是不是不适合抽那么低的真空度啊？细长杆、焊口、螺纹，是不是不适合量产啊？还是这个尺寸的产品抽真空本身就很慢啊？
缺少什么信息尽管说，我立刻补上。

engine

10的负四不算很很高，我看结构就有很大问题，NPT螺纹用什么密封的，焊口是怎么个焊法，焊缝形状，如果是用锡焊，这辈子估计也抽不到你要的真空，聚氨酯也不行，胶料要仔细选择。所有东西都弄完了，做算出大致的透气率，数量级和第一位有效数字必须准确，然后据此为抽速找真空泵。楼主的结构不合理，泵抽不过来，肯定真空度上不去。高真空是个系统活。

2266998

你现在玩不了，高真空是博士的东西，你得先学‘分子扩散’，

真空度到一个水平以后，你不懂分子扩散，下面玩不下去，

泵有好多种，高真空用多级蒸汽喷射器，每级要逐级计算，这个要专业人才，连丹尼利都把这个算错了，可见计算这个的那哥们儿没有专门学这个，

在高真空维持时间是多少，是根据分子扩散水平决定的，

再就是真空管件不是普通连接管件，别用一般机械密封管件，没有效果，

刘晓白

2266998 发表于 2017-7-31 11:54
你现在玩不了，高真空是博士的东西，你得先学‘分子扩散’，

真空度到一个水平以后，你不懂分子扩散，下面 ...

感谢8爷的回复。
您一说就说到根本上了，高深的东西压根儿就没考虑，真空维持时间更没有概念了，惭愧啊。
这是个电子产品，管子里是波导丝，在低温环境下经常绝缘电阻不过关的现象，怀疑是管子里空气中的水分在低温环境下液化影响的，初衷只是想把空气中的水蒸气抽离，抽真空看来无望了。
还有一种想法就是：氮气置换空气。您觉得有戏吗？

刘晓白

刘晓白 发表于 2017-7-31 12:40
感谢8爷的回复。
您一说就说到根本上了，高深的东西压根儿就没考虑，真空维持时间更没有概念了，惭愧啊。 ...

再次谢过~

贝吉塔

真没干过这么高真空度啊，以前干镀膜就是俩泵（叶片真空泵做前级+罗茨泵）串联用真空度高一些，分子泵加俩前级泵，试试吧 ，要分析理论我不懂的。

刘晓白

engine 发表于 2017-7-31 13:12
10的负四不算很很高，我看结构就有很大问题，NPT螺纹用什么密封的，焊口是怎么个焊法，焊缝形状，如果是用 ...

您的回答对我很有帮助，谢谢。
不怕你笑话，螺纹密封是生料带+管螺纹密封胶，焊口就一般的氩弧焊，聚氨酯灌封一直质量也不好。看了要做的还有很多很多啊。

Architect

这个管道比较细长，但真空度还不够高。首先看管体材料，内表层是否有氧化层、污染物。清洗抛光是否到位，从源头上控制放气量。另外初次抽真空要烘烤加热，一些气氛不通过烘烤加热去除率较低，可能长时间释放。再次就是考虑密封材料和密封界面（某些材料不致密或残留放气），焊接界面尽量光洁。可以找一本真空手册及捡漏国家标准逐条排查。